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擴散硅壓力傳感器裝置產品特點

1、適合制作小量程的傳感器

硅芯片的這種力敏電阻的壓阻效應在零點附近的低量程段無死區(qū)，制作壓力傳感器的量程可小到幾個Kpa。

2、輸出靈敏度高

硅應變電阻的靈敏因子比金屬應變計高50～100倍，故相應的傳感器的靈敏度就很高，一般量程輸出為100mv左右。因此對接口電路無特殊要求，使用比較方便。

3、精度高

由于傳感器的感受、敏感轉換和檢測三部分由同一個元件實現，沒有中間轉換環(huán)節(jié)，重復性和遲滯誤差較小。由于單晶硅本身剛度很大，變形很小，保證了良好的線性。

4、由于工作單性形變低至微應變數量級，彈性芯片zui大位移在亞微米數量級，因而無磨損，無疲勞，無老化，壽命長達1×103壓力循環(huán)，性能穩(wěn)定，可靠性高。

5、由于硅的優(yōu)良化學防腐性能，即使是非隔離型的擴散硅壓力傳感器，也有相當程度的適應各種介質的能力。

6、由于芯片采用集成工藝，又無傳動部件，因此體積小，重量輕。

擴散硅壓力傳感器裝置是利用壓阻效應原理，采用集成工藝技術經過摻雜、擴散，沿單晶硅片上的特點晶向，制成應變電阻，構成惠斯凳電橋。利用硅材料的彈性力學特性，在同一切硅材料上進行各向異性微加工，就制成了一個集力敏與力電轉換檢測于一體的擴散硅傳感器。